پارس پروژه پرتال خدمات دانشگاهی
کد محصول BR148
تعداد صفحات: 106 صفحه فایل WORD
قیمت: 15000 تومان
فهرست مطالب :
فصل اول
1-1- معرفی ITO و ویژگی های آن
1-1-1- خواص عمومی و ساختار فیزیکی
1-1-2- خواص الکتریکی
1-1-3- تحرک حامل های آزاد؛ مکانیزم پراکندگی
1-1-4- ویژگی های اپتیکی
1-1-5- ثابتهای اپتیکی
1-1-6- ساختار باند
1-2- روشهای لایه نشانی ITO
1-2-1- تبخیر حرارتی
1-2-2- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی
1-2-3- افشانه گرما کافت (Spry pyrolysis)
1-2-4- چاپ صفحه ای (screen printing)
1-2-5- لایه گذاری توسط باریکه الکترونی (e – beam)
1-2-6- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی
1-3- تماس نیمه هادی ITO
1-3-1- تحلیل دیاگرام باند انرژی تماس MS
فصل دوم
2-1 عملیات قبل از لایه نشانی
2-1-1- استفاده از محلول (RCA)
2-1-2- استفاده از حمام اولتراسونیک
2-1-3- گرما دهی به زیر لایه
2-2 عملیات لایه نشانی
2-2-1- کندوپاش
2-2-2- اساس مکانیزم کندوپاش
2-2-3- dc کندوپاش
2-2-4- rf کندوپاش
2-2-5- مگنترون کندوپاش
2-2-6- کندوپاش واکنشی
2-2-7- مزیت های فرایند کندوپاش
2-2-8- سیستم لایه نشانی مورد استفاده در این پروژه
2-2-9- تاثیر فاصله بین هدف و زیرلایه بر خواص فیلم ITO
2-2-10- تاثیر فشار جزئی اکسیژن روی ویژگی های فیلم ITO
– عملیات پس از لایه نشانی
– فرایند پس گرمایش
فصل سوم
3-1- الگودهی به نمونه ها
3-1-1- طراحی و ساخت الگو
3-1-2- انواع فتورزیست
3-1-3- روش Lift-off
3-1-4- روش زدایش (etching)
3-1-4-1- زدایش خشک
3-1-4-2- زدایش تر
3-2- ضخامت سنجی
3-3- اندازه گیری مقاومت تماس
3-4- اندازه گیری مقاومت ورقه ای
3-4-1- پروب چهار نقطه ای
3-5- روش های کریستالوگرافی
3-5-1- بررسی با کمک میکروسکوپ نوری
3-5-2- بررسی با میکروسکوپ الکترونی
3-5-3- میکروسکوپ اسکن کننده الکترونی (SEM) و تحلیل تفکیک کننده اشعه ایکس (EDX)
3-5-4- میکروسکوپ انتقال دهنده الکترون (TEM)
3-5-6- شناسایی بر اساس تفرق اشعه ایکس (XRD)
3-5-7- RBS
3-5-8- بررسی با کمک میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM)
3-6- طیف سنجی فروسرخ
3-6-1- فرایند جذب فروسرخ
3-6-2- موارد کاربرد طیف فروسرخ
3-6-3- حرکات ارتعاشی
3-6-4- دستگاه طیف سنج فروسرخ