کد محصول: me244
تعدادصفحات ۱۱۰ صفحه فایل word
قیمت: ۳۵۰۰۰ تومان
چکیده:
سیستمهای میکرو الکترو مکانیکی نوعی سیستم هستند که اندازه فیزیکی خیلی کوچکی دارند.این سیستمها معمولا دارای اجزای الکتریکی و مکانیکی هستند.
)میکرو الکترومکانیکال سیستم ها(ریشه آمریکایی دارد، MEMS همچنین به (تکنولوژی میکروسیستمها) دراروپا و میکرو مکانیک در ژاپن بر می گردد. بدون توجه به این واژگان، فاکتورMEMS در روشی که ساخته می شوند، است.
MEMS یک فناوری است که اجازه توسعه محصولات هوشمند ، تکمیل توانایی محاسباتی میکروالکترونها با در نظر گرفتن قابلیتهای میکروسنسورها و میکرومحرکها و توسعه فضای ممکن طراحی و استفاده را می دهد .
ادوات MEMS برای استفاده در شیوه های ساخت گروهی مانند مدارهای مجتمع ساخته می شوند و سطوح جدیدی از قابلیت انجام وظیفه ، قابلیت اطمینان و مهارت می تواند روی یک تراشه سیلیکونی کوچک با یک هزینه نسبتاپایین قابل دسترسی باشد.
MEMS یک فرآیند تکنولوژی است که برای بوجود آوردن سیستمها و وسایل یکپارچه (مجتمع) خیلی کوچک بکارمی رودکه ازعناصر الکتریکی و مکانیکی ترکیب می شوند. آنها با استفاده از تکنیکهای عملیات تک مرحله ای و در سایزهای بین کمتر از میکرومتر تا میلی متر طبقه بندی می شوند .
واقعیتMEMS برای طراحی و مهندسی و ساختن و اداره کارهای تخصصی از یک محدوده متنوع و گسترده ای از قسمتهایی که شامل IC می باشد مورد استفاده قرار می گیرد از قبیل : مهندسی مکانیک ، علم مواد ، مهندسی برق ، مهندسی شیمی و به همین خوبی برای مهندسی سیالات ، ابزار دقیق ، بسته بندی کردنMEMS ها می توانند بکار روند
فهرست:
فصل اول
۱-۱)مقدمه…۲
۲-۱)حوزه عملکرد MEMS…2
۳-۱)قوانین مقیاس سازی در کوچک سازی..۳
۱-۳-۱) مقدمه با مقیاسسازی.۳
۲-۳-۱) مقیاسسازی (ارزیابی) در هندسه..۳
۴- ۱)مقیاس سازی در حرکات سخت – جسمها ( اجسام سخت)۷
۱-۴-۱)مقیاسسازی در نیروهای دینامیک ..۷
۲-۴-۱)بردار مقیاسسازی نیروی اصلاح کننده ۸
۵-۱) مقیاسگذاری نیروهای الکترومغناطیسی…۱۳
۶-۱)مقیاسگذاری در الکتریسیته ۱۵
۷-۱)مقیاسگذاری مکانیک سیالات..۱۶
۸-۱) مقیاسگذاری در انتقال گرما…۲۰
۱-۸-۱) مقیاسگذاری در هدایت حرارت ..۲۱
فصل دوم: مقیاس سازی نانو در مهندسی
۱-۲)مقدمه..۲۴
۲-۲)تکنولوژی مقیاس میکرونانو.۲۶
۳-۲)قانون کلی ساخت نانو۲۸
۴-۲)تولیدات نانو…۳۱
۵-۲)کاربرد محصولات نانو..۳۵
۶-۲)فیزیک کوانتوم…۴۰
۷-۲)نیرو محرکه مولکولی۴۲
۸-۲)جریان سیال در زیر میکرومتر و مقیاس…۴۴
۱-۸-۲)رقیق کردن گاز…۴۵
۲-۸-۲)فودسن و تطابق ارقام ۴۵
۳-۸-۲)مدل سازی جریان گاز میکرو و مقیاس نانو۴۶
۹-۲)رسانایی گرمایی در مقیاس نانو..۴۹
۱-۹-۲)ارسال گرما در مقیاس نانو در زیر میکرومترها…۴۹
۲-۹-۲)رسانایی گرمایی غشاهای نازک.۵۳
۳-۹-۲) معادله رسانایی گرمایی برای غشاهای نازک..۵۴
۱۰-۲)اندازه گیری رسانایی گرمایی.۵۵
۱۱-۲)چالش ها در مهندسی مقیاس نانو.۶۲
۱-۱۱-۲)الگوسازی نانو در ساخت نانو.۶۳
۲-۱۱-۲)اجتماع نانو…۶۵
۳-۱۱-۲)موادجدیدیبرای یستم های نانو الکتروماتیک..۶۶
۴-۱۱-۲)مدل سازی تحلیلی..۶۷
۵-۱۱-۲)ازمایش..۶۸
۱۲-۲)۶۸
فصل سوم:دید کلی ریز دانه ها
۱-۳)مقدمه.۷۱
۲-۳)بزرگی ریز دانه.۷۲
۱-۲-۳)دیدکلی از حکاکی۷۲
۲-۲-۳)حکاکی متجانس و غیر متجانس۷۳
۳-۲-۳)جادوکننده مرطوب…۷۵
۴-۲-۳)توقف تراشکاری.۷۸
۵-۲-۳)حکاکی خشک… ۷۹
۶-۲-۳)مقایسه حکاکی خشک با مرطوب. ۸۵
۳-۳)سطح میکروتراشی.۸۵
۱-۳-۳)توصیف. ۸۵
۲-۳-۳)فرایند.۸۷
۳-۳-۳)مشکلات مکانیکی مربوط به سطح میکروتراشی۸۹
۴-۳)فرایند لیگا….۹۳
۱-۴-۳)شرح..۹۴
۲-۴-۳)مواد برای مواد زیر لایه..۹۷
۳-۴-۳)ابکاری الکترونیکی.۹۸
۴-۴-۳)فرایند اس لیگا…۱۰۰
۵-۳)خلاصه از میکرو تولید.۱۰۰
۱-۵-۳)حجم میکرو تولید۱۰۰
۳-۵-۳)فرایند لیگا۱۰۱